激光切割用保護膜剤EMS1146是用聚合物水溶液给晶元片作塗布,在激光切割作业时产生的碎片及碎屑,减轻切割部崩齿,保护基片。使用后,使用水清洗很容易清除。
激光切割用保护膜感光 乳液EM1146可以使用喷雾器,旋转塗料器,浸渍的方法来喷绘涂抹。
使用旋转塗料器可以在3,000RPM/20~30秒得到3,000Å的膜厚并可以马上使用。
使用喷雾器和浸渍的情况下,请在35~50℃下加热15~20分钟。
注:膜厚Å 1Å=10^-10m=10^-4μm。3000Å=0.3μm
液 物 性 | 密 度 | 1.0~1.3g/ml(25℃) |
粘 度 | 6.7cp.(25℃) |
不純物濃度 | Na:<1ppm | Zn:<1ppm | K :<1ppm | Fe:<1ppm |
Cu:<1ppm | Ni:<1ppm | Mn:<1ppm |
膜 厚 | 使用旋转塗料器可以在3,000RPM・20~30秒得到3,000Å的膜厚,如果减缓旋转速度膜厚就会增加。厚度是旋转速度的平方根的相反比例。 如果需要特别的膜厚,可以提供高浓度的品种 |
光学特性 | 屈 折 率 | 1.50 | |
光透過性 | 2,500Å 78% | ||
3,000Å 73% | |||
4,000Å 80% | |||
※无色透明膜,在1.5~5μm红外线下呈半透明 |
耐热性 | 保护膜在200℃会分解。不希望水洗的情况下请在空气中加热。 如在100℃以上进行加热清洗时会降低水的溶解度。 |
接 着 性 | 保护膜可以粘贴在硅·铝·陶瓷·金属等 请不要重叠在一起保存 |
去除膜的方法 | 保护膜不溶于有机溶剂的。在甲醇及乙醇中溶胀。可溶解于水,尤其易溶于热水及酸性水溶液。 |
请在室内阴暗处保存,由于是水溶液所以不易燃。虽然含少量有机磷呈酸性,至今为止没有事故的报告。但是请和其他药品类的使用要领一样使用。