13616161921

15861659396

激光切割用保护膜

激光切割用保護膜剤EMS1146是用聚合物水溶液给晶元片作塗布,在激光切割作业时产生的碎片及碎屑,减轻切割部崩齿,保护基片。使用后,使用水清洗很容易清除。

使用方法

激光切割用保护膜感光  乳液EM1146可以使用喷雾器,旋转塗料器,浸渍的方法来喷绘涂抹。

使用旋转塗料器可以在3,000RPM/20~30秒得到3,000Å的膜厚并可以马上使用。

使用喷雾器和浸渍的情况下,请在35~50℃下加热15~20分钟。

注:膜厚Å  1Å=10^-10m=10^-4μm。3000Å=0.3μm

液 物 性密  度1.0~1.3g/ml(25℃)
粘  度6.7cp.(25℃)
不純物濃度Na:<1ppmZn:<1ppmK :<1ppmFe:<1ppm
Cu:<1ppmNi:<1ppmMn:<1ppm 

保護膜物性

膜   厚

使用旋转塗料器可以在3,000RPM・20~30秒得到3,000Å的膜厚,如果减缓旋转速度膜厚就会增加。厚度是旋转速度的平方根的相反比例。
使用喷雾器和浸泡时膜厚会在10,000Å以上。

如果需要特别的膜厚,可以提供高浓度的品种

光学特性屈 折 率 1.50
光透過性 2,500Å  78%
 3,000Å 73%
 4,000Å 80%
※无色透明膜,在1.5~5μm红外线下呈半透明
耐热性

保护膜在200℃会分解。不希望水洗的情况下请在空气中加热。

如在100℃以上进行加热清洗时会降低水的溶解度。
接 着 性

保护膜可以粘贴在硅·铝·陶瓷·金属等

请不要重叠在一起保存
去除膜的方法保护膜不溶于有机溶剂的。在甲醇及乙醇中溶胀。可溶解于水,尤其易溶于热水及酸性水溶液。

安全性

请在室内阴暗处保存,由于是水溶液所以不易燃。虽然含少量有机磷呈酸性,至今为止没有事故的报告。但是请和其他药品类的使用要领一样使用。

附件下载: